真空泵的用途及使用的工業類型

一、真空泵的用途分類：

1、主泵：在真空系統中，用來獲得所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽泵：從大氣壓開始，降低系統的壓力達到另一抽氣系統開始工作的真空泵。

3、前級泵：用以使另一個泵的前級壓力維持在其.高許可💁的前級壓力以下的真空泵。前級泵也可以作粗抽泵使🔞用。

4、維持泵：在真空系統中配置一種容量較小的輔助前💁級泵，維🛀🏻持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。

5、粗(低)真空泵：從大氣壓開始，降低容器壓力且工作🌐在低真🌈空範圍的真空泵。

6、高真空泵：在高真空範圍工作的真空泵。

7、超高真空泵：在超高真空範圍内工作的真空泵。

8、增壓泵：裝在高真空泵和低真空泵之間，用來提高抽氣系統在🔅中間壓力範圍内的抽氣量或降低前級泵容量要求的真🈲空泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。

二、各種真空泵适用的工藝類型：

1、水環真空泵：适用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色㊙️、真🈲空幹燥、真空保鮮、真空儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。

2、往複真空泵：适用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真空幹燥、鋼液真空處理等工藝。往複真🧑🏽‍🤝‍🧑🏻空泵與水環真空泵的使用工藝基本相💚同。但是，往複真空泵不能直接抽水蒸氣，需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱，采用制冷壓縮機系統冷卻。

3、油封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)：适用🈲于真空蒸餾🌍、真空幹燥、真空浸漬、真空燒結、真空絕熱、真空釺焊、真空鍍💯膜、真空熱處理等工藝。當前，油封機械真空泵♻️作為直☔排大氣的真空泵，使用的量大面廣。

4、羅茨真空泵(機械增壓泵)：适用于真空燒結、真空釺焊、真🌈空浸漬、真空幹燥、真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝🏃‍♀️。絕大多數🔆羅茨♊泵都不能用于直排大氣，需要配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵使用。濕式羅茨泵可⛱️以直排大氣，主要用于造紙工業。

5、油增壓泵：适用于真空冶煉、真空燒結、真空釺焊、真空熱處理等工藝。它與機械增壓泵相類似，不能直排大氣，必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級泵使用。

6、油擴散泵：适用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉💚、真空提♻️純、真空分析儀器、真空檢漏儀、生産電真空器件、宇宙空間模拟、加速器真空系統等工藝中使用。它适合于抽🎯取高真空，本身不能直排大氣，必須配備前級泵使用。

7、幹式真空泵(螺杆泵、渦旋泵、爪形泵)：适用于無油清潔的真空工藝過程，例如半導體行業、電子行業、化工行業等各種工藝中，這🧡幾種泵都能直排大氣。

8、吸附泵：适合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器、以及各種要求清潔無油的真空系統中使用。

9、钛泵(濺射離子泵、升華泵)：适用于真空鍍膜、電真空器件、大規模集成電路、表面物理、表面化學、熱核物理、等離子體物👉理、超導技術等工作中。

10、分子泵：适用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學、等離子‼️體物理、光學儀器、熱核反應、宇航技術等工作中。

11、水噴射泵：适合于真空倒料、真空輸送、化工、化纖、制藥🐇、油漆、油脂、造紙、燒堿、制糖、食品、制磚、真空除氧等🌈工業㊙️領域。

12、水蒸氣噴射泵：适合于真空冶煉、真空脫氣、真空蒸發、真空🔞幹燥、真空回潮等工業領域。

13、低溫泵：适合于真空鍍膜、表面物理、超導技術、宇航技術等領域中。